日本加野3900粒子計數(shù)器測潔凈廠房懸浮粒子的方法
采用計數(shù)濃度法,即通過塵埃粒子計數(shù)器測定潔凈環(huán)境內(nèi)單位體積空氣中含大于或等于某粒徑的懸浮粒子數(shù),來評定潔凈室(區(qū))的懸浮粒子潔凈度等級。
面積㎡ | 潔凈度級別 | ||
100 | 10,000 | 100,000 | |
< 10 | 2 ~ 3 | 2 | 2 |
≥ 10 ~< 20 | 4 | 2 | 2 |
≥ 20 ~< 40 | 8 | 2 | 2 |
≥ 40 ~< 100 | 16 | 4 | 2 |
≥ 100 ~< 200 | 40 | 10 | 3 |
≥ 200 ~< 400 | 80 | 20 | 6 |
≥ 400 ~< 1000 | 160 | 40 | 13 |
≥ 1000 ~< 2000 | 400 | 100 | 32 |
2000 | 800 | 200 | 63 |
注:表中的面積,對于單向流潔凈室,指的是送風面積;對于非單向流潔凈室,指的是房間面積。 |
潔凈度級別 | 采樣量, L/ 次 | |
≥ 0. 5 um | ≥ 5 um | |
100 | 5.66 | — |
10,000 | 2.83 | 8.5 |
100,000 | 2.83 | 8.5 |
A= | C 1 +C 2 + … +Cn |
N |
M= | A 1 +A 2 + … +An |
L |
SE= | (A 1 -M) 2 +(A 2 -M) 2 + … (A L -M) 2 |
L(L-1) |
采樣點數(shù) L | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | > 9 |
t | 6.31 | 2.92 | 2.35 | 2.13 | 2.02 | 1.94 | 1.90 | 1.86 | — |
注:當采樣點數(shù)多于 9 點時,不需要計算 UCL 。 |
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